反应离子刻蚀

时间:2024-06-17 15:07:44编辑:分享君

什么是反应离子刻蚀

这种刻蚀过程同时兼有物理和化学两种作用。辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行。硅片处于阴极电位,放电时的电位大部分降落在阴极附近。大量带电粒子受垂直于硅片表面的电场加速,垂直入射到硅片表面上,以较大的动量进行物理刻蚀,同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应,产生化学刻蚀作用。选择合适的气体组分,不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度,还可以使活性基团的寿命短,这就有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成的侧向反应,大大提高了刻蚀的各向异性特性。反应离子刻蚀是超大规模集成电路工艺中很有发展前景的一种刻蚀方法。


什么叫反应离子束刻蚀

离子束刻蚀
离子束刻蚀以离子束为刻饰手段达到刻饰目的的技术,其分辨率限制于粒子进入基底以及离子能量耗尽过程的路径范围。离子束最小直径约10nm,离子束刻蚀的结构最小可能不会小于10nm。目前聚焦离子束刻蚀的束斑可达100nm以下,最少的达到10nm,获得最小线宽12nm的加工结果。相比电子与固体相互作用,离子在固体中的散射效应较小,并能以较快的直写速度进行小于50nm的刻饰,故而聚焦离子束刻蚀是纳米加工的一种理想方法。此外聚焦离子束技术的另一优点是在计算机控制下的无掩膜注入,甚至无显影刻蚀,直接制造各种纳米器件结构。但是,在离子束加工过程中,损伤问题比较突出,且离子束加工精度还不容易控制,控制精度也不够高。


化学中的有机化学和无机化学怎麼区别?

有机化学和无机化学主要从研究对象去区别。1、无机化学是研究不含有碳元素(简单的碳的化合物如CO2、CO、碳的单质、碳酸盐属无机)的化学,研究它们的结构、组成、性质、变化的科学。无机化学是研究无机化合物的化学,是化学领域的一个重要分支。通常无机化合物与有机化合物相对,指多数不含C-H键的化合物,因此碳氧化物、碳硫化物、氰化物、硫氰酸盐、碳酸及碳酸盐、碳硼烷、羰基金属等都属于无机化学研究的范畴。2、有机化学是研究含碳元素的化学,研究它们的结构、组成、性质、变化、合成的科学。在有机化学发展的初期,有机化学工业的主要原料是动、植物体,有机化学主要研究从动、植物体中分离的有机化合物。扩展资料:有机化学之所以成为化学中的一个独立学科,是因为有机化合物确有其内在的联系和特性。位于周期表当中的碳元素,一般是通过与别的元素的原子共用外层电子而达到稳定的电子构型的(即形成共价键)。这种共价键的结合方式决定了有机化合物的特性。大多数有机化合物由碳、氢、氮、氧几种元素构成,少数还含有卤素和硫、磷、氮等元素。因而大多数有机化合物具有熔点较低、可以燃烧、易溶于有机溶剂等性质,这与无机化合物的性质有很大不同。在含多个碳原子的有机化合物分子中,碳原子互相结合形成分子的骨架,别的元素的原子就连接在该骨架上。在元素周期表中,没有一种别的元素能像碳那样以多种方式彼此牢固地结合。由碳原子形成的分子骨架有多种形式,有直链、支链、环状等。用最精炼的一句话概括有机化学的研究对象,就是“如何形成碳碳键”。有机化学是碳的化学,有机化学的内容说白了就是研究怎么搭建碳原子的大厦(或者小厦)。因为对人们有用处的有机分子一般是大而复杂的,而人们能随意支配和轻易获得的原料往往是小而简单的。参考资料:百度百科-有机化学百度百科-无机化学

有机化学和无机化学的区别

有机物即有机化合物。含碳化合物(一氧化碳、二氧化碳、碳酸盐、金属碳化物等少数简单含碳化合物除外)或碳氢化合物及其衍生物的总称。有机物是生命产生的物质基础。

有机物的特点:
多数有机化合物主要含有碳、氢两种元素,此外也常含有氧、氮、硫、卤素、磷等。部分有机物来自植物界,但绝大多数是以石油、天然气、煤等作为原料,通过人工合成的方法制得。

和无机物相比,有机物数目众多,可达几百万种。有机化合物的碳原子的结合能力非常强,互相可以结合成碳链或碳环。碳原子数量可以是1、2个,也可以是几千、几万个,许多有机高分子化合物甚至可以有几十万个碳原子。此外,有机化合物中同分异构现象非常普遍,这也是造成有机化合物众多的原因之一。

有机化合物除少数以外,一般都能燃烧。和无机物相比,它们的热稳定性比较差,电解质受热容易分解。有机物的熔点较低,一般不超过400℃。有机物的极性很弱,因此大多不溶于水。有机物之间的反应,大多是分子间反应,往往需要一定的活化能,因此反应缓慢,往往需要催化剂等手段。而且有机物的反应比较复杂,在同样条件下,一个化合物往往可以同时进行几个不同的反应,生成不同的产物。

无机物即无机化合物。一般指碳元素以外各元素的化合物,如水、食盐、硫酸、石灰等。但一些简单的含碳化合物如一氧化碳、二氧化碳、碳酸、碳酸盐和碳化物等,由于它们的组成和性质与无机物相似,因此也作为无机物来研究。绝大多数的无机物可以归入氧化物、酸、碱、盐四大类


如何学好化学?

一、理解双基,掌握化学用语所谓双基即指化学基本概念和基本理论,是化学基础知识的重要组成部分,也是学好化学的基础。它们一般都是用简明精炼的词句表达出来,具有一定的科学性、严密性和逻辑性。学习时不要只局限于熟记,要善于抓住其中的关键字、词,准确无误地去理解。二、立足结构,了解物质性质化学研究的对象是物质,物质的组成和结构决定了物质的性质,而物质的性质又制约了物质的存在方式、制法和用途。因此在学习元素化合物性质时,应抓住其结构来了解物质性质。扩展资料:学好化学记忆小妙招:1、理解记忆对所学知识进行分析、综合、比较、归纳总结,找出内在联系及规律,然后记忆这些带有规律性的知识。如:在记忆氧化还原反应、离子反应、化学平衡、电离平衡等概念,必须在理解的意义前提下去记忆。2、口诀记忆要告诉自己这是一种学习的捷径,然后在深刻的理解它的内涵,最后记住了,就会成为学习化学的利器。如:“升失氧,降得还”、“见量化摩,求啥先求摩”、“有弱才水解,都强不水解。谁弱谁水解,谁强显谁性。越热越水解,越弱越水解”。

什么叫做化学

化学(英语:Chemistry)是一门研究物质的性质、组成、结构、变化、用途、制法,以及物质变化规律的自然科学。化学与工业、农业、日常生活、医学、材料等均有十分紧密的联系。如:煤,石油和天然气燃烧后产生了二氧化碳等物质。化学研究的对象涉及物质之间的相互关系,或物质和能量之间的关联。传统的化学常常都是关于两种物质接触、变化,即化学反应,又或者是一种物质变成另一种物质的过程。这些变化有时会需要使用电磁波,当中电磁波负责激发化学作用。不过有时化学都不一定要关于物质之间的反应。光谱学研究物质与光之间的关系,而这些关系并不涉及化学反应。


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