光刻机是干什么用的

说到光刻机，很多人肯定很陌生，也可能是第一次听说这个东西，那么光刻机是干什么用的呢？让我们一起来了解一下。光刻机是芯片制造的核心设备之一。在芯片加工过程中，光刻机通过一系列光源能量和形状控制手段，使光束通过带有电路图的光罩，通过物镜补偿各种光学误差，将电路图按比例缩小并映射到硅片上，然后用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图形。光刻机的结构：1、测量台和曝光台：是承载硅片的工作台。2、激光器：即光源，是光刻机的核心设备之一。3、光束校正器：校正光束的入射方向，使激光束尽可能平行。4、能量控制器：控制最终照射到硅片上的能量。曝光不足或曝光过度都会严重影响图像质量。5、光束形状设置：将光束设置为圆形、环形等不同形状，不同的光束状态具有不同的光学特性。6、摇床：在不需要曝光时，防止光束到达硅片。7、能量检测器：检测光束最终入射能量是否满足曝光要求，反馈给能量控制器进行调整。8.Reticle：一块玻璃板，里面刻有电路设计图，要几十万。9、掩膜台：承载掩膜板运动的设备，运动控制精度在纳米级。10、物镜：物镜用于补偿光学误差和缩小电路图。11、硅晶片：由硅晶体制成的晶片。硅片有多种尺寸，尺寸越大，成品率越高。12、内部封闭式框架和减震器：将工作台与外界环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，保持稳定的温度和压力。